質(zhì)量流量計是一種..測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。質(zhì)量流量傳感器直接計量氣體質(zhì)量流量，有很高的測量精度，是對應(yīng)于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下(101.325kPa, 20℃)的體積流量，通常表達SLPM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)，氣體質(zhì)量流量自動換算成體積流量。

在質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和特定的PID控制電路研制而成底吹氬系統(tǒng)專用質(zhì)量流量控制器，底吹氬系統(tǒng)專用質(zhì)量流量控制器具有質(zhì)量流量計的功能，還能自動控制氣體流量。用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，質(zhì)量流量控制器自動地將流量恒定在設(shè)定值上，不受系統(tǒng)壓力或環(huán)境溫度的影響。質(zhì)量流量控制器是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

DHZQK質(zhì)量流量控制器安裝時要先連接流量計的上游端，上游直管段應(yīng)滿足10DN的.低要求,下游直管段應(yīng)滿足5DN的.低要求;

DHCZK氣體層流質(zhì)量流量控制器，可測流體范圍廣泛，測量管的振動幅小，對迎流流速分布不敏感，因而安裝時無直管段要求。

閥門的控制功能是依靠驅(qū)動機構(gòu)或流體驅(qū)使啟閉件升降、滑移、旋擺或回轉(zhuǎn)運動以改變流道面積的大小來實現(xiàn)的，調(diào)節(jié)范圍為：0.5-20Nl/min;2-100Nl/min;6-300Nl/min;12-600Nl/min;24-1200Nl/min;30-1500Nl/m。

圖1 熱式質(zhì)量流量控制器帶液晶顯示 

圖2 質(zhì)量流量控制器不帶顯示

圖3 DHCZK氣體層流質(zhì)量流量控制器